国内首次研制出4K动态随机存储器(DRAM)
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1977年,全国自然科学学科规划会议在北京召开,全国科研单位和高等院校的专家学者及管理干部共1200余人参会。会议结束时,中央领导人华国锋、邓小平等接见了参会代表。王守觉、吴德馨与魏策军等作为参会代表受到了接见。这次会议是“科学的春天”到来之前的重要序幕,会上邓小平同志针对我国集成电路产业发展的迫切需求提出,“你们一定要把大规模集成电路搞上去”。
1978年底,吴德馨先生承担了N-MOS 4096位(4K)动态随机存储器(DRAM)研制重任。作为表面器件研究室405组组长,她在王守武先生的指导下,带领团队开展工艺和版图设计研究,研制成功N-MOS 4096位动态随机存储器(DRAM)。她还在国内首次将正性胶光刻、干法刻蚀等先进工艺用于大规模集成电路研制,独创“露点法”检测接触孔质量,大幅提升了大规模集成电路成品率。该技术推广到上海器件五厂,为我国集成电路的工业生产奠定了基础,大幅提升国产芯片量产可行性。随后,她与团队接续攻克16K、64K位DRAM技术,推动了我国存储器技术迭代升级。
1980年,“N沟MOS 4096位动态随机存储器提高管芯成品率的研究”、“16K位MOS动态随机存储器”获得中国科学院科技成果一等奖。

MOS 4K存储器

MOS 16K存储器
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