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微电子所在半导体工艺建模方法方面取得进展更多>>

近日，集成电路设计自动化领域国际顶级会议2024 ACM/IEEE International Conference on Computer-Aided Designs（ICCAD）在美国召开，微电子所EDA中心陈岚研究员团队在会上展示了半导体工艺建模方法方面的最新研究进展。目前工艺建模主要采用的是数据驱动模型和半物理模型两大方法。数据驱动模型在提高预测精度方面表现出色，但需要大量的量测数据支持，且容易出现过拟合或模型不收敛情况。而半物理模型虽然更为鲁棒，可有效预防过拟合，但存在模型复杂度高以及不支持工艺迁移等不足。同时，通用工艺建模框架的缺乏导致不同工艺需要具有不同学科背景的研究... 详细 >>
上海高研院等实验证实二氧化钌非交变磁特性更多>>

交变磁性是近年来提出的第三类基本磁相。交变磁性既有反铁磁体的零净磁场,又具有铁磁体的自旋劈裂现象。通常,两者被认为是不相容的。交变磁性兼具铁磁性和反铁磁性的优势,为制造自旋电子器件带来了新突破口,在磁存储和量子计算中展现出应用前景。在较多潜在的交变磁性材料中,金红石结构的二氧化钌(RuO2)因具备特殊的晶体对称性以及理论预测的1.4 eV的能带劈裂,被认为是实现交变磁性特征的候选材料之一。同时,实验上RuO2是否是磁性材料存在争议。中国科学院上海高等研究院、上海微系统与信息技术研究所、金属研究所、中国科学技术大学及南京大学的科研人员合... 详细 >>
上海微系统所研制出超小型双通道集成二氧化碳红外气体传感器更多>>

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁团队在超小型二氧化碳（CO₂）气体传感器研制方面取得进展。该团队制备的传感器具有尺寸小、功耗适中、性能稳定、成本低以及在中红外波段发光效率高等特点，具备良好的抗湿性、稳定性和可重复性，在可穿戴呼吸监测应用中具有应用前景。相关研究成果以Ultra-compact dual-channel integrated CO₂ infrared gas sensor为题，发表在《微系统与纳米工程》（Microsystems & Nanoengineering）上。呼出CO₂浓度可以直接反映人体的生理状况，而检测CO₂浓度有助于危重患者的治疗与康复。现有的呼吸气体分析... 详细 >>
微电子所在先进工艺仿真方向取得重要进展更多>>

环绕栅极晶体管(GAAFET)与传统FinFET工艺流程相比,引入了内侧墙(inner spacer)、沟道释放(channel release)等工艺,必须通过对叠层结构的精确横向刻蚀来实现。高精度刻蚀工艺控制是三维集成电路制造面临的最大挑战之一,其工艺机理和调控机制在科学界和工业界受到广泛关注。针对GAA内侧墙结构Si/SiGe叠层横向选择性刻蚀工艺面临的形貌缺陷和均匀性问题,微电子研究所EDA中心陈睿研究员与先导中心李俊杰高级工程师、南方科技大学王中锐教授、维也纳工业大学Lado Filipovic教授合作,通过提出全新的Ge原子解吸附和扩散的模拟算法,建立了基于蒙特卡洛方法的连续两... 详细 >>
半导体所等提出免于退极化效应的光学声子软化新理论更多>>

通过晶体管持续小型化以提升集成度的摩尔定律已接近物理极限,但主要问题在于晶体管功耗难以等比例降低。有研究提出,进一步降低功耗有两种途径。一是寻找拥有比二氧化铪(HfO2)更高介电常数和更大带隙的新型高k氧化物介电材料;二是采用铁电/电介质栅堆叠的负电容晶体管,降低晶体管的工作电压和功耗。氧化物高k介电常数和铁电相变均源于光学声子软化。此前,科学家认为,只有当Born有效电荷足够强以使得长程库伦作用超越短程原子键强度时,才会出现光学声子软化,但强Born有效电荷导致材料的介电常数与带隙成反比,难以同时拥有高介电常数和大带隙,引起界面退极化效... 详细 >>
宁波材料所等发展出n-i-p钙钛矿/晶硅叠层太阳电池更多>>

钙钛矿/晶硅叠层太阳电池具有开发面向效率大于30%光伏组件的潜力，是光伏领域的研究热点。当前，隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）硅太阳能电池采用晶体硅电池技术。这一技术兼具高效率、成本效益和大规模生产等优势。目前，如何研发基于TOPCon底电池的高效钙钛矿/晶硅叠层电池技术是光伏产业的重要问题。高质量的双面TOPCon底电池需要在n型TOPCon电子收集端和p型TOPCon空穴收集端同时实现良好的表面钝化。然而，在绒面上，基于掺硼多晶硅的钝化接触结构的钝化质量不佳，导致底电池开路电压下降，制约了基于TOPCon底电池的叠层电池效率提升。详细 >>