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序号 |
所属研究室 |
仪器名称 |
仪器型号 |
预约方式 |
区域中心内 收费标准 |
房间电话 |
联系人 |
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1 |
一室 |
静态参数功率器件测试系统 |
TESEC 3620-TT |
网上预约 |
25元/支 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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2 |
一室 |
动态参数测试系统 |
TESEC 3430-SW |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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3 |
一室 |
热阻测试系统 |
TESEC 9424-KT |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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4 |
一室 |
雪崩能量测试系统 |
TESEC 3702-LV |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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5 |
一室 |
栅电荷测试系统 |
ITC 59100 |
网上预约 |
600元/小时 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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6 |
一室 |
数字存储大功率半导体管特性图示仪 |
XJ4832 |
网上预约 |
20元/支 |
净化楼三层 82995650 |
陆江 |
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7 |
一室 |
高低温试验箱 |
VTM7004 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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8 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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9 |
一室 |
手动探针台 |
PW-800 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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10 |
一室 |
半自动探针台 |
PA300 |
网上预约 |
800/小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
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11 |
一室 |
示波器 |
MSO 4104型 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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12 |
一室 |
半导体参数测试系统 |
HP4061 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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13 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP93000 |
网上预约 |
800/小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
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14 |
一室 |
集成电路验证系统 |
HP82000 |
网上预约 |
800/小时（暂定） |
62007208 |
李晶 |
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15 |
一室 |
半导体参数测试仪 |
4200 |
网上预约 |
600/小时 |
62007208 |
李晶 |
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16 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 6300FS电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 6300FS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度，及占用机时确定收费 |
净化楼一层82995648 |
牛洁斌 |
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17 |
所级实验平台 |
JEOL JBX- 5000LS电子束光刻系统 |
JEOL JBX- 5000LS |
网上预约 |
需要依照电子束曝光图形具体线条尺寸、密度，及占用机时确定收费 |
净化楼一层82995648 |
牛洁斌 |
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18 |
三室 |
GCA 3600F Pattern Generator图形发生器 |
GCA 3600F |
（按光学制版系统预约） |
需要依照掩模版图形具体线条尺寸、密度，以及掩模版尺寸、材料等确定收费 |
净化楼一层82995648 |
李友 |
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19 |
三室 |
GCA 3696 Photorepeater分步重复精缩机 |
GCA 3696 | ||||
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20 |
三室 |
MEBES 4700S电子束掩模曝光系统 |
MEBES 4700S | ||||
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21 |
三室 |
原子层沉积薄膜制备系统 |
BENEQ TFS200 |
网上预约 （2011新增） |
暂定： 开机费：200元 HfO2：5元/1 ？ Al2O3：1元/1？ TiO2：0.5元/ 1？ |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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22 |
三室 |
离子束溅射薄膜制备及刻蚀系统 |
定制 |
网上预约 （2011新增） |
暂定： 开机费：300元 HfO2：元/10 ？ Hf：元/10 ？ |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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23 |
三室 |
双腔室电子束蒸发镀膜系统 |
DENTON Explorer 14改进型 |
网上预约 |
开机费：400元，Au：1元/1？、 Ag：1元/2？、 Al：1元/50？、Ti：1元/10？、SiO2：1元/10？ |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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24 |
三室 |
光学曝光机 |
SUSS MA6 |
网上预约 |
开机费：200元， 曝光：150元/片 |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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25 |
三室 |
相位调制型椭圆偏振光谱仪 |
Horiba Uvisel FUV |
网上预约 （2011新增） |
暂定： 开机费：200元， 测试：30元/点 |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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26 |
三室 |
台阶仪 |
Dektak150 |
网上预约 |
测试：15元/点 |
净化楼一层 82995579 |
胡媛 |
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27 |
三室 |
低温测试物性表征系统 |
Lake Shore TTP4 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706测试间 82995582 |
余兆安 |
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28 |
三室 |
电学性能测试系统 |
Keithley4200 |
直接联系 |
根据测试需求确定收费 |
A706测试间 82995582 |
余兆安 |
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29 |
四室 |
Loadpull在片测试系统 |
Tuner（MT982BU）、 信号源（HP83752B）、 功率计（Agilent E4417) 频谱仪（HP8563E）、 直流源（HP4142、HP6624） 探针台（Cascade 9K） |
网上预约 |
1000元/小时 开机费600元/次 校准400元/频点 |
82995800 |
李艳奎 |
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30 |
四室 |
小信号在片测试系统 |
矢网（AgilentE8363B）、 直流源（Hp4142） 探针台（SUSS PA200） |
网上预约 |
1000元/小时 开机费400元/次 |
82995800 |
李艳奎 |
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31 |
四室 |
三毫米在片测试系统 |
矢网（HP8510C） 信号源（AV1481） 波控机（AV3640） 谐波混频器（AV3645）、 探针台（SUSS PA200） |
网上预约 |
2000元/小时 开机费600元/次 |
82995800 |
李艳奎 |
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32 |
四室 |
光电测试系统 |
误码分析仪（Agilent81250D） 宽带示波器（Agilent86100A） |
网上预约 |
600元/小时 开机费300元/次 |
82995800 |
李艳奎 |
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33 |
四室 |
C_V在片测试系统 |
LCR表（Agilent4284A） |
网上预约 |
500元/小时 开机费100元/次 |
82995800 |
李艳奎 |
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34 |
四室 |
高低温在片测试系统 |
探针台（Cascade 12000） 温控（TP 03000） |
网上预约 |
200元/小时 |
82995800 |
李艳奎 |
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35 |
四室 |
微波功率晶体管老化系统 |
老化系统（中安电子BTW-E381） 冷水机（GW511C） |
网上预约 |
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82995800 |
李艳奎 |
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36 |
四室 |
微波半导体脉冲测试系统 |
脉冲分析仪（华北集成电路NC4832） |
网上预约 |
500元/小时 开机费200元/次 |
82995800 |
李艳奎 |
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37 |
八室 |
等离子增强化学气相沉积系统 |
HQ-2 |
直接联系 |
开机费500元+ 300元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
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38 |
八室 |
磁控溅射台 |
SP-3 |
直接联系 |
靶材自带；开机费300元/小时+500元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
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39 |
八室 |
等离子体浸没式离子注入机 |
PIII-ICP08A |
直接联系 |
开机300元+200元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
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40 |
八室 |
紫外光刻机 |
URE-2000/A |
直接联系 |
400元/小时，包括光刻胶费用 |
010-82995842 |
刘淼 |
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41 |
八室 |
匀胶机 |
KW |
直接联系 |
AZ4620胶: 2寸或小于2寸片30元/片；4寸片80元/片；6寸片150元/片。普通胶: 30元/片。（此收费只针对单独涂胶工艺） |
010-82995842 |
刘淼 |
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42 |
八室 |
硅片清洗机 |
SFQ-1508T |
直接联系 |
300/次 |
010-82995842 |
刘淼 |
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43 |
八室 |
旋转冲洗甩干机 |
CXS-2200B |
直接联系 |
100/次 |
010-82995842 |
刘淼 |
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44 |
八室 |
零件超声清洗机 |
|
直接联系 |
100\次 |
010-82995842 |
刘淼 |
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45 |
八室 |
高密度等离子体刻蚀机 |
ICP-98B、C |
直接联系 |
开机费300元/次+300元/样品；特殊刻蚀样品费另议
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010-82995842 |
刘淼 |
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46 |
八室 |
原子力显微镜 |
Veeco Dimension D3100 AFM |
直接联系 |
探针自带 开机第一个小时500元，往后每30分钟200元计 |
010-82995842 |
刘淼 |
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47 |
八室 |
激光共焦显微镜 |
OPLYMPUS LEXT OSL 4000 |
直接联系 |
开机第一个小时300元，往后每30分钟100元 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
48 |
八室 |
台阶仪 |
P6 KLA-Tencor |
直接联系 |
30元/点 |
010-82995842 |
刘淼 |
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49 |
八室 |
椭圆偏振光谱仪 |
|
直接联系 |
待定 |
010-82995842 |
刘淼 |
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50 |
八室 |
薄膜电阻测试仪 |
CRESBOX |
直接联系 |
100元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
51 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯BX51 |
直接联系 |
50元\小时 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
52 |
八室 |
显微镜 |
奥林巴斯MX61 |
直接联系 |
50元\小时 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
53 |
八室 |
高精度电子天平 |
METTLER TOLEDO |
直接联系 |
50元\小时 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
54 |
八室 |
矢量网络分析仪 |
R&S ZVL3 |
直接联系 |
开机第一个小时500元，往后每30分钟100元 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
55 |
八室 |
太阳能电池IV测试仪 |
|
直接联系 |
200元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
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56 |
八室 |
可编程数字热板 |
Echo Therm |
直接联系 |
50元/小时 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
57 |
八室 |
轮廓仪 |
MICRO XAM1200 |
直接联系 |
300元/样品 |
010-82995842 |
刘淼 |
|
58 |
十室 |
高温扩散炉 |
BTU |
直接联系 |
氧化2000元/炉；推进3000元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
59 |
十室 |
CVD扩散炉 |
G---2627 |
直接联系 |
2000元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
60 |
十室 |
扩散炉 |
ASM-250 |
直接联系 |
LTO:3000元/炉；POLY；3000元/炉；TEOS:2500元/炉 |
82995561 |
蒋浩杰 |
|
61 |
十室 |
LPCVD扩散炉 |
TEMPRESS |
直接联系 |
POLY；3000元/炉；氮化硅：2000元/炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
62 |
十室 |
平板CVD炉 |
AMP-3300 |
直接联系 |
PESIN:2000元/炉；PESIO:1500元/炉 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
63 |
十室 |
膜厚仪 |
NANOSPEC/AFT |
直接联系 |
一点50元 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
64 |
十室 |
椭偏仪 |
GES5E |
直接联系 |
常规：一点50；其他高K材料或多层膜500元/点 |
82995560 |
蒋浩杰 |
|
65 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4420 |
直接联系 |
150元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
|
66 |
十室 |
干法刻蚀机 |
Rainbow4520 |
直接联系 |
150元每片 |
8299-5794 |
赵玉印 |
|
67 |
十室 |
溅射台 |
Varian3180 |
直接联系 |
75元每片 |
82995561 82995794 |
张浩 |
|
68 |
十室 |
溅射台 |
MLH-2306 RDE |
直接联系 |
150元每片 |
82995561 82995794 |
柴淑敏 张浩 |
|
69 |
十室 |
注入机 |
IM-200 |
直接联系 |
150元每片 |
82995560 82995793 82995794 |
刘金彪 张浩 |
|
70 |
十室 |
光刻机 |
CANON PLA501F光刻机 |
直接联系 |
50元每片 |
82995767 |
丁明正 |
|
71 |
十室 |
轨道 |
SVG-81 |
直接联系 |
10元每片 |
82995767 |
丁明正 |
|
72 |
十室 |
光刻机 |
EVG-620 |
直接联系 |
150元每片 |
82995767 |
丁明正 |
公共技术服务中心