关于我们

教育背景：
2009.09-2013.01 中国科学院物理研究所，凝聚态物理，博士
2006.09-2009.07 中国石油大学（北京），材料学，硕士
2002.09-2006.07 武汉大学，电子信息科学与技术，学士
工作简历：
2016.06-至今  中国科学院微电子研究所，高级工程师
2013.04-2016.05  北京市北方微电子（北方华创），资深工程师

先进CMOS器件工艺; 先进MEMS器件工艺; MEMS（NEMS）传感器技术

1.Hongbo Li, Gaobo Xu, Chenchen Zhang, Haiyang Mao, Na Zhou* and Dapeng Chen, “A Sensitivity Controllable Thermopile Infrared Sensor by Monolithic

Integration of a N-channel Metal Oxide Semiconductor”，ECS J. Solid State Sci. Technol., 2021, 10, 097002. 

2.Yang Liu, Jie Cheng, Aiyao Tang, Mingxiao Li, Haiyang Mao, Na Zhou*, and Chengjun Huang*, “Hierarchical ZnO nanospikes on rough nanopillars for gas sensing with self-cleaning properties”, Transducers, 2021. 

3.Guidong Chen, Yang Liu, Meng Shi, Na Zhou, Xin Dai, Haiyang Mao* and Dapeng Chen, "Performance Enhanced Humidity Sensor by in-situ Integration of Nanoforests," IEEE Electron Device Letters, 2021, 3062063.

4.Na Zhou*, Junjie Li, Haiyang Mao*, Hao Liu, Jinbiao Liu, Jianfeng Gao, Jinjuan Xiang, Yanpeng Hu, Meng Shi, Jiaxin Ju, Yuxiao Lei, Tao Yang, Junfeng Li, Wenwu Wang, “The study of reactive ion etching of heavily doped polysilicon based on HBr/O2/He plasmas for thermopile devices”, Materials, 2020,13, 4278.  

5.Junjie Li, Yongliang Li, Na Zhou, et al, Wenwu Wang*, Henry H Radamson, “Study of Silicon Nitride Inner Spacer Formation in Process of Gate-all-around Nano-Transistors”, Nanomaterials, 2020, 10, 4793.  

6.Na Zhou*，Junjie Li，Henry Radamson，Lin Li，Qifeng Jiang，Junfeng Li, “Deep silicon etching for thermopile structures using a modified Bosch process”, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019, 18, 2.  

7.Na Zhou, Yueyong Yang, Huijue Wu, Yanhong Luo, Dongmei Li, and Qingbo Meng*, “Panchromatic quantum dot sensitized solar cells based on parallel tandem structure”, ChemsusChem, 2013, 6, 687.  

8.Na Zhou, Guoping Chen, Dongmei Li, Qingbo Meng*, “Highly efficient PbS/CdS co-sensitized solar cells based on photoanodes with hierarchical pore distribution”, Electrochem. Comm., 2012, 20, 97.  

9.Na Zhou, Kun Zhao*, Hao Liu, Songqing Zhao, Hui Zhao, “Ultrafast photovoltaic effects in miscut Nb-doped SrTiO3 single crystals”, J. Appl. Phys., 2009, 105, 083110.  

10.N. Zhou, K. Zhao*, H. Liu, H. B. Lu, M. He, S. Q. Zhao, W. X. Leng, “Enhanced photovoltage in perovskite-type artificial superlattice on Si substrates”, J. Phys. D: Appl. Phys., 2008, 41, 155414.  

2021.03  北京信息电子技术大型仪器区域中心“优秀个人”； 

2020.12  中国科学院微电子所集成电路先导中心“工程之星”, “抗疫之星”； 

2019.04  中国科学院微电子研究所“优秀共产党员”。

已授权专利：

1.周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，刘洋，李茂，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏,一种纳米森林结构的制备方法, 申请号：202011269623.0，申请日期：2020-11-13

2.周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏，一种低噪声热电堆器件的制作方法, 申请号：202011262979.1，申请日期：2020-11-12

3.周娜，毛海央，高建峰，李俊杰，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏， 一种悬桥结构热电堆器件的制作方法, 申请号：202011262952.2，申请日期：2020-11-12

4.周娜,李俊杰,高建峰,杨涛,李俊峰,王文武，堆叠纳米线环栅器件及其制作方法，申请号：202011036930.4，申请日期：2020-09-27

5.周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏，高吸收热电堆及制作方法，申请号：202010874367.1，申请日期：2020-08-26

6.周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏，高吸收纳米结构热电堆及其制作方法, 申请号： 202010874173.1, 申请日期： 2020-08-26

7.周娜，李俊杰，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，水平纳米通道阵列、微纳流控芯片及其制作方法，中国，申请号：CN202010438674.5,申请日期：2020-05-21

8.周娜，雷雨潇，李俊杰，卢一泓，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，热电堆及其制作方法，中国，申请号：CN202010389902.4,申请日期：2020-05-09

9.周娜，李俊杰，毛海央 ，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，热电堆及其制作方法，中国，申请号：CN202010389904.3,申请日期：2020-05-09

10.周娜，李俊杰，熊文娟，高建峰，杨涛，李俊峰，一种热电堆及其制备方法、探测器，中国，申请号：CN201911415065.1，申请日期：2019-12-31