计算光刻中心

教育背景
2009/09-2014/07，中国科学院大学/中国科学院半导体研究所，集成光电子国家重点实验室，硕博连读
2005/09-2009/07，河北工业大学，材料学院，本科
工作简历
2018/03-至今，中国科学院微电子研究所，副研究员
2014/07-2018/03，中国科学院微电子研究所，助理研究员

集成电路先进光刻计算测量，先进对准和套刻仿真，SEM结构三维重建，DSA工艺与仿真

1.纳米结构扫描电子显微俯视图像的三维重建基本模型及算法研究（2017.1~2019.12），国家自然科学基金青年基金，负责人
2.国产计算光刻系统性能评估（2017.1~2020.12），国家科技重大专项子课题，参与

1. Libin Zhang, Le Ma, Rui Chen, Jianfang He, Xiaojing Su, Lisong Dong, Yajuan Su, Yayi Wei, “Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods,” J. Vac. Sci. Technol. B 36(5), 052902, 2018
2. Libin Zhang, Lisong Dong, Xiaojing Su, Yayi Wei*, Tianchun Ye, “New alignment mark designs in single patterning and self-aligned double patterning,” Microelectronic Engineering 179: 18–24, 2017.
3. Libin Zhang, Lisong Dong, Xiaojing Su, Yayi Wei*, “Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application,” J. Vac. Sci. Technol. B, 35(6): 061601, 2017
4. Libin Zhang, Yonghao Fei, Tongtong Cao, Yanmei Cao, Qingyang Xu, Shaowu Chen*, Multibistability and self-pulsation in nonlinear high-Q silicon microring resonators considering thermo-optical effect, Physical Review A, 2013, 87(5):053805
5. Libin Zhang, Yonghao Fei, Yanmei Cao, Shaowu Chen*, Experimental observations of thermo-optical bistability and self-pulsation in silicon microring resonators, Journal of the Optical Society of America B-Optical Physics, 2014, 31(2)：201-206

2017年中国科学院微电子研究所第五届“寻找科研新星”大赛一等奖，荣获“科研新星”荣誉称号
2018年中国科学院微电子研究所优秀共产党员

1.张利斌，韦亚一，一种自对准双重图形成像方法，中国，ZL201510218532.7
2.张利斌，董立松，苏晓菁，韦亚一，五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法，中国，ZL201610140129.1
3.张利斌，董立松，苏晓菁，韦亚一，七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法，中国，ZL201610140991.2
4.张利斌，韦亚一，一种光刻工艺窗口的测量方法，中国，ZL 201610890095.8
5.张利斌，粟雅娟，韦亚一，一种扫描电子显微图像的三维重构方法，中国，ZL201510891707.0
6.张利斌，韦亚一，一种线条粗糙度的测量方法及系统，中国，ZL201610645840.2