MEMS器件及系统中心

简　　历：

社会任职：

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研究方向：

• 微细加工技术

承担科研项目情况：

• (1)“九五”国家重点科技攻关项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；

  (2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”；

  (3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”；

  (4)科技部863项目“无掩模光刻系统”；

  (5)科技部863项目；

  (6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”；

  (7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”；

  (8)中科院知识创新方向性项目。

代表论著：

获奖及荣誉：

• 2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖

专利申请：