近日，中科院微电子所微电子设备技术究室夏洋研究员、刘邦武、刘金虎等科研人员组成的研发团队联合嘉兴中科院微电子仪器与设备工程中心在黑硅太阳能电池研究上再获进展。继2012年11月多晶硅电池转换效率达到17.88%后，再度取得进展，突破18.3％。

　　该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入设备，制备了纳米表面结构的黑硅材料。黑硅的纳米结构具有良好的吸光性能，也可以提高电池的填充因子与短路电流，从而大幅度提高电池的转换效率。该技术简单可控，可以减少部分化学液体的使用，与现有的硅电池生产线工艺完全兼容，有望在新一轮的光伏产业重组中占据技术优势，为我国光伏产业的发展做出贡献。

　　该研究项目得到了国家自然基金委、中国科学院、嘉兴市的项目资助。

　　高效多晶黑硅太阳能电池I-V曲线（2013年3月）