经过两年的艰苦努力，我所一室CMOS工艺线全体员工克服了经费短缺、设备老化、人员不足的困难，使新的CMOS平台从无到有，初具规模，并于日前成功完成北京奇攀微电子公司第一批４英寸CMOS器件产品订单。首批交付产品经对方检验，性能指标良好，完全达到验收标准。全部产品订单完成后，合同标的总额可达３２０万以上。此项工作的顺利完成，标志着一室CMOS工艺平台调试工作达到了一个新的阶段。

　　ＣＭＯＳ工艺线全体职工尽心尽责，徐秋霞研究员严把每道工序的质量关，亲自检验；石莎莉、王文武博士跟单流片，下到一线操作设备；卢狄克、欧毅博士加班加点，保证注入机和Al溅射台的正常运行；董立军、李询、董德凯负责高温、栅氧、退火等多道CVD和高温工艺的稳定可靠；刘辉、王燕鹊保质保量地完成了光刻、显影工作；廉永梅、杨宝亮等同志克服场地狭小、设施简陋等困难，按时完成了清洗、栅氧腐蚀、湿法刻铝、测试等工作。除此之外，外联和后勤工作也得到了大力支持，张国欢积极与奇攀公司进行联络，落实订单；资产处郭建刚保证了各种消耗材料的及时供应。

　　和国内其他大型生产线相比，一室CMOS工艺线还是一条相对简陋的科研型工艺线，但是，该批订单的完成标志着微电子所前工艺线在经过和上华公司的合并、重组后，终于浴火重生，成功嬗变，在所领导和兄弟部门的支持下，重新建立起了一只敢打硬仗、能打硬仗的队伍。随着十一五国家重大专项的即将启动，该平台必将成为微电子所十一五申请国家重大专项的基础科研平台。