1963年

　　中科院半导体研究所由王守觉先生领导的器件室研制成功硅平面型晶体管，109厂及时选派人员前往学习并迅速投入生产，为109丙机及其它高技术任务试制生产硅平面型器件。

中科院副院长张劲夫来109厂检查工作

　　1964年

　　109厂厂长周振恒及其党政领导班子对生产结构进行重大调整，决定停产锗器件，全面转产硅器件，并开展日产千支的活动，将研制生产推向高潮。此次调整为109厂向单片集成电路的发展，及以后承担重大高技术任务打下牢固基础。

　　1965年

　　朝鲜科学院再次派人来109厂学习。

　　8月，109厂与156工程处（后为771研究所）、半导体研究所合作，承担了156计算机的专用混合单片集成电路及晶体管芯片的试制生产。

　　1966年

　　109厂与上海光学仪器厂协作，研制成功我国第一台65型接触式光刻机，由上海无线电专用设备厂进行生产并向全国推广。

　　109厂和上海无线电22厂合作，在国内首先研制成功超声波铝丝压焊机，由上海无线电22厂抽调人员建立上海超声波仪器厂，主要生产超声波压焊机，供应全国。

　　截至1966年底，109厂共生产各类型硅平面型晶体管7万余支，为我国第一台硅晶体管计算机——109丙机的诞生作出了历史性的贡献。

第一批硅晶体管

　　1969年

　　109厂与丹东精密仪器厂协作，研制成功全自动步进重复照相机，套刻精度达3微米，后由北京700厂批量生产，供应全国使用。

　　1970年

　　109厂研制开发成功系列抗饱和STTL—E高速数字逻辑中小规模集成电路，共16个品种、75万块，用于“远望”号远洋跟踪测量船中心控制151机。

“远望”号远洋跟踪测量船

　　8月，109厂共完成8台156计算机所需的混合单块集成电路3万余块及晶体管芯片4万余个。与此同时受中科院自动化所委托，为541机研制和生产NPN平面型低频功率开关管，闸流管等器件。至此，我国从晶体管计算机时代进入单块集成电路计算机时代。