10月16日，经中科院研究决定并上报中央编制委员会批准，微电子中心更名为“中国科学院微电子研究所”。

　　10月，“20万门CMOS门阵列技术研究”获国家科学技术三等奖。

　　微电子所开发成功中国首款运算能力突破每秒10亿次乘累加大关的高性能、低功耗DSP芯片。

高性能“同心”DSP芯片

　　2004年

　　3月，“先进的深亚微米工艺技术及新型器件”获北京市科学技术一等奖。“20万门CMOS门阵列技术”获北京市科学技术三等奖。

　　9月9日，预算投资9686万元、建筑面积2.5万平方米、占地3587平方米的综合科研楼正式开工。综合科研楼于2006年8月14日竣工，2006年9月3日投入使用。该项目获得2004年度北京市建筑（结构）长城杯金质奖工程。

　　11月12日，微电子所成立杭州分部和杭州中科微电子有限责任公司。杭州中科微电子是从事集成电路设计和系统开发的专业性公司，是重要的研发中心和博士、硕士生培养基地，成为产学研有机结合的重要创新平台。

　　微电子所电子科学与技术专业被批准建立博士后流动站。

　　2005年

　　2月，“高性能栅长27纳米 CMOS器件及关键工艺技术研究”获北京市科学技术一等奖。

　　10月19日，微电子所与华润上华公司建立战略合作关系，以硅工程中心内的主要工艺生产线（即半导体芯片制造部和半导体芯片封装部）为基础成立华润上华公司北京分公司，开展多种产品开发。

　　11月20日， “亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究”获国家技术发明奖二等奖；

　　2006年

　　6月，微电子所进行战略转型和重大调整，重新进行学科布局，确定的战略方向与重点项目为：核心电子器件产品与技术、高端通用芯片产品与技术、面向产业的公共技术服务平台、集成电路核心技术、纳电子基础前沿研究等。

　　2007年

　　3月7日，中科院常务副院长、党组副书记白春礼到所视察指导工作。

　　5月31日，中科院副院长江绵恒视察微电子所。

　　12月21日，微电子所研制成功国内首款CMOS GPS套片“航芯”1号、2号、CMMB手持数字电视接收前端及解码芯片、具有完全自主知识产权的IPTV的多媒体解码芯片、基于SMIC12英寸生产线的IC设计支撑技术“片上抗静电（ESD）保护电路”。

　　微电子所InP基毫米波器件再创国内新高；微电子设备销售形成一定市场规模。