中国科学技术大学郭光灿院士团队的任希锋教授研究组首次成功实现了两个光量子集成芯片之间的量子受控非门(CNOT门)隐形传输。相关研究成果日前发表于《物理评论快报》。构建大规模量子网络的关键在于实现高集成度、可扩展的量子节点,以及节点间高保真度的量子互联。光... 详细 >>
高低温电学测试探针台
傅里叶红外光谱/多...
扫描电镜/原子力显...
键合对准及检测设备
晶圆级共晶键合设备
晶圆级扩散键合设备
化学机械平坦化设备
单片自动清洗设备
槽式自动清洗机
栅氧/多晶/退火卧...
RTP快速退火设备/...
超低能离子注入设...
原子层薄膜沉积设备
III-V MOCVD设备
SixGe1-x减压外延设备
金属蒸发镀膜设备
金属PVD溅射设备
介质CVD淀积设备
VHF/XeF 释放设备
深硅刻蚀机
介质/金属刻蚀机
接触式双面曝光机/...
20nm 电子束直写设...
0.18mm扫描式光刻...
京公网安备110402500036号
© 中国科学院微电子研究所 版权所有
地址:北京市朝阳区北土城西路3号 邮编:100029
邮箱:icac@ime.ac.cn
