获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 1993年
获奖名称: 多功能磁增强反应离子刻蚀机
主要完成人: 刘训春 韩阶平 钱 鹤 曹振亚 王润梅 叶甜春 陈梦真 曹松彬 刘辉
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 1993年中国科学院科技进步二等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
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