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  • 姓名: 刘涛
  • 性别: 男
  • 职称: 研究员
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 010-82995712
  • 传真: 
  • 电子邮件: liutao@ime.ac.cn
  • 所属部门: 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景

    美国佛罗里达国际大学电子工程系,摩托罗拉纳米工程中心,光学博士。(2009年)

    中国科学技术大学物理系,物理学学士。(2003年)

    工作简历

    中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 副研究员。(2010-

    专注于纳米尺度物质的结构测量及物性表征方法研究,及相关仪器的系统级研发。

    科研方向

    1)新型扫描探针测量。

    2)超宽频带偏振光谱测量

    3)光学散射表征技术。

    4)光学干涉及三维结构测量。

    5)新型纳米光学器件。

    应用方向

    1)超衍射空间分辨率的物性表征。

    2)微纳结构三维形貌测量(周期性结构/非周期性结构)。

    3)微纳薄膜结构测量和物性表征。

    4)晶圆表面缺陷及污染的检测。

    社会任职:

  • 深圳中科飞测科技有限公司,总监。(2015年-2018年)

    研究方向:

  • 新型扫描探针测量,超宽频带偏振光谱测量,光学散射表征技术,光学干涉及三维结构测量,新型纳米光学器件

    承担科研项目情况:

  • 1.  国家重点研发计划重大科学仪器设备开发重点专项,课题负责人。(2017年 -

    2.  中科院科研装备研制项目,课题负责人(2017年 -

    3.  中科院科研装备研制项目,项目负责人(2019年 -

    4.  国家科技部02重大专项,中央680万,课题负责人,(已结题)(2011年-2016年

    5.  率领开发的晶圆在线检测设备已重复销往国内一流IC企业,创国内先例。(2015年-2018年)

    代表论著:

  • 学术论文20余篇,引用300余次

    专利申请:

  • 获得和申请发明专利50余项,美国2项;著作章节1项

    获奖及荣誉:

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