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  • 姓名: 熊伟
  • 性别: 男
  • 职称: 副研究员
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 010-82995789
  • 传真: 
  • 电子邮件: xiongwei2@ime.ac.cn
  • 所属部门: 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景:

    2004/09-2009/07,清华大学,微电子研究所,博士,导师:余志平 

    2000/09-2004/07,清华大学,电子工程系,学士   

    工作经历:

    2011/12-至今,中国科学院微电子研究所,微电子设备技术研究室,副研究员 

    2009/09-2011/11浙江大学,电气工程学院,博士后,合作导师:严晓浪 

    社会任职:

    研究方向:

  • 光学无损检测 

    半导体工艺仿真 

    承担科研项目情况:

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    代表论著:

    专利申请:

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    获奖及荣誉: