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作者信息:高频高压中心 杨成樾
图片描述:摩尔定律揭示了集成电路技术发展的规律。每隔18-24个月,单位面积容纳的元器件数目会翻一番。简单的说就是我们微电子人要不断追求在更小尺寸上制备相同功能的器件结构。虽然随着技术的进步,这个定律能否延续适用性被提出了一些质疑。但是挑战困难,突破瓶颈是我辈努力的方向。看我们已经在0.5um的周期上刻出了整齐的凸点结构,它们整齐的队列就像出征的战士。迎难而上,攻坚克难是我辈应有的担当。
成像设备:S-4800型扫描电子显微镜
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