作者信息：先导中心  张青竹

图片描述：本作品显示的是NiPt硅化物纳米线横切面，可以清晰地看到不同元素的分布情况。初入眼帘，我们可以看到这副图所描述的景象和白居易《忆江南》中，那句“日出江花红胜火，春来江水绿如蓝”中描述的日出景致，如出一辙！每次看到此图，都昭示我们科研艰辛之路，就如同日出破晓之前一个漫长的过程！科研过程之中，我们每个人都有属于自己的经历的要去破晓，需要我们去渡心中的那个黑暗之劫！唯有坚守信念，持之以恒，一如既往的日出而作日落而息，方可一览日出之时所给我们带来的那种大气磅礴、气吞山河时的自然之美！ 

实验方法：基于芯片CMOS主流FinFET场效应晶体制造技术平台，使用纳米尺寸侧墙硬掩膜，通过时分复用刻蚀技术和氧化的方法形成纳米线。采用NiPt金属使源漏变为金属纳米。其他工艺和主流FinFET兼容类似工艺。通过过FIB制样技术，截取纳米线线的横切面，并通过透射电子显微镜观察和分析元素分布。 

取样仪器名称型号： FEI Helios和FEI Talos F200X