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发现科学之美

稿件来源：责任编辑：发布时间：2020-08-06

作者信息：EDA中心曹鹤
图片描述：本作品显示的是28纳米高k金属栅工艺测试芯片经过化学机械研磨后的表面形貌图，图中金黄色竖线是设计图形（凸出区域），暗红色竖线是介质层（凹槽区域）。
成像设备：原子力显微镜