作者信息：先导中心  张青竹 

图片描述：本作品显示的是硅纳米线横切面，可以清晰地看到高晶格质量且直径小于10nm的“心形”硅纳米线。初入眼帘，我们可以看到这副图的形貌非常神似《泰坦尼克号》剧中，Rose身上所佩戴的“海洋之心”！每次看到此图，都提醒我们科学之路就是一场心路旅程，我们每个人都应该有一颗属于自己的“海洋之心”。正是这颗“心”，在时刻的提醒着我们，要勿忘初心，要踏踏实实的去做科研，不要被外界所影响，只有这样我们的科研之路才可方得始终！ 

实验方法：使用纳米尺寸侧墙硬掩膜，通过时分复用刻蚀和氧化的方法形成纳米线。其他工艺和主流FinFET制作类似的制造技术。然后通过FIB制样技术，截取纳米线线的横切面。 

取样仪器名称型号： FEI Helios和FEI Talos F200X通过过FIB制样技术，截取纳米线线的横切面，并通过透射电子显微镜观察和分析元素分布。