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作者信息:重点实验室 刘宇
图片描述:本作品显示的是在硅片表面外延生长SiN,在晶格失配及应力的作用下SiN沿<110>方向随机断裂,在经过湿法腐蚀后可以清晰地看到薄膜断裂的线条,图片展现了在错综复杂中同时又井然有序的自然之美。每次看到此图都能提醒我们,在科研工作中要懂得从纷乱复杂的现象中发现自然的秩序,发现真正的科学之美。
实验方法:利用LPCVD在Si<100>面上生长SiN薄膜,控制工艺参数使薄膜产生缺陷,再用KOH溶液进行腐蚀使缺陷放大至肉眼可见。
成像设备:苹果手机
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