作者信息：中国科学院微电子研究所-超薄之美-郜晨希- 15652369004 

图片描述：本作品显示的是半导体设备中最常用的零配件—薄膜式电容真空计爆炸渲染图。薄膜式电容真空计是国外封锁中国的产品，直径影响国内半导体设备的发展。图片为我们国内自主研发的真空计，其需要15um厚的超薄超硬低膨胀合金膜片作为核心敏感元件，并配备不同厚度的超薄导气垫圈，密封在高达的真空环境中并保压10年以上。从材料研制到超薄金属微加工，再到封装，其难度就如同图中层层垫圈一样，每一圈都是一个脚印，一步一步突破封锁。 

图片处理软件名称：Solidworks、Keyshot