作者信息：重点实验室  陈宝钦

图片描述：本作品显示的是在电子束光刻实验中，电镜下偶然发现的一尾精美的活生生的“纳米鱼”。放大后，可以发现其每一片鱼鳞是由四个光刻胶纳米柱搭成的“溝火堆”（见附图a）。附图中几张精典的电镜照片可以进一步看到在电子束曝光显影后清洗干燥过程中经常遇到的一种现象：高高宽比纳米结构图形粘连坍塌现象。这些照片为深入开展电子束光刻工艺技术研究提供许多非常有用的信息。在图d和e中显示，在理想的电子束光刻工艺中可以获得漂亮的20纳米点阵，并能找到完美的5纳米光刻胶格栅结构。从事工艺技术研究，乐在其中！ 

电子束光刻实验方法：首先在硅片上旋涂HSQ电子抗蚀剂；前烘；电子束曝光；后烘；CD26显影；去离子水清洗；干燥；光学显微镜观察；扫描电子显微镜检测等工序。 

电子束光刻设备型号： 日本电子 JBX 5000 LS；日本电子 JBX 6300 FS 

扫描电子显微镜型号： 日立S- 4800