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l 作者信息:设备中心-神奇的激光-石海燕
l 图片描述:当无坚不摧的激光遇到硬度仅次于金刚石的SiC,不同激光能量作用下呈现出不同的物化特征,尽显科学之美。
l 实验方法:飞秒激光烧蚀SiC过程材料改性试验,用于指导飞秒激光划片工艺优化。
l 拍摄仪器名称:尼康光学显微镜
l 获评中国科学院2022年度“发现科学之美”大赛三等奖、中国科学院微电子研究所2022年度“发现科学之美”大赛二等奖
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