l  作品名称：神奇时刻

l  图片描述：本作品展示的是光刻胶对曝光反应的状态图：极紫外光将掩模版上的图形信息经过复杂光学系统后投影到光刻胶上，激发神奇的化学反应，产生可溶于显影液的图形（图中紫红色部分），从而实现图形转移，这是集成电路制造中最重要的光刻工艺之一。

l  取样仪器名称型号：Canon EOS 500D

l  图片处理软件名称：Solidworks2018、 Keyshot9.0、Adobe Photoshop 2021

l  获评中国科学院2022年度“发现科学之美”大赛三等奖、中国科学院微电子研究所2022年度“发现科学之美”大赛二等奖