l   作品名称：路漫漫

l   作者信息：设备中心-李楠

l   图片描述：本作品显示的是，超高真空环境下传输车运送样品到不同的工艺或检测腔室进行科学研究。小车在不同功能的腔体间传送，就像经过四通八达的交通路口。代表尽管科学研究的路不好走，但总有一个方向会抵达目的地，我们一直以及将来都要在这条道路上勇于创新，不断探索，寻求科学的真理。

l   仪器名称型号：E-PEALD/SPM/R-100（国家重大科研仪器研制项目，自行研制仪器）

l   拍摄设备：华为手机

l   获评中国科学院2022年度“发现科学之美”大赛优秀奖、中国科学院微电子研究所2022年度“发现科学之美”大赛三等奖