1958年，为研制“两弹一星”专用109计算机，中科院微电子所的前身、我国第一个半导体器件生产厂——“中国科学院109厂”成立，从此，中国有了自己的半导体事业。有这样一群人，面对艰难困境，他们不服输、不认邪，默默地为中国集成电路事业打地基、添砖瓦，把青春年华献给了祖国的科技事业。微电子所徐秋霞研究员便是其中杰出的一位。

一、不畏艰难，立志科研报国

1961年，徐秋霞考入浙江大学物理学专业。大三时，国家发展半导体事业急需人才，她随之转入了半导体专业，从此便与半导体结下了不解之缘。她勤奋学习，立志科研报国，决心要为祖国的半导体事业努力奋斗。从浙江大学物理学专业毕业后，徐秋霞选择去条件艰苦的东北长春半导体厂工作，一干就是10多年，期间与爱人两地分居8年多。作为新产品试制线负责人，她带领团队一次次完成了急难险重任务，曾经连续奋战八个昼夜未眠。在一次项目攻关期间，她的父亲突发急病，女儿又患上急性肝炎，为影响生产任务，她白天带父亲、女儿看病，晚上加班加点赶进度，确保了项目按时保质保量完成。在长春工作期间，她先后为厂里建立了两条晶体管生产线，并获得了稳定的生产和成品率，产生了良好的经济效益，获评长春市先进工作者。

二、创新攻关，助力强国之梦

1978年，徐秋霞进入中科院工作。在王守武院士、吴德馨院士的指导下，她作为工艺技术负责人，参与并完成了大规模集成电路4K DRAM的研制及其提高成品率的研究任务。1984年，她担任中科院“七五”重大项目负责人，承担了“1-1.5微米新工艺和新器件结构探索性研究”，超指标研制成功性能优良的栅长0.6微米Ti自对准硅化物LDD MOS器件及31级环振电路，达到国内领先和国际先进水平，获评中科院“七五”重大科研任务先进工作者。“八五”期间，她作为核心骨干承担了“0.8微米全套工艺预研”项目关键技术研究和集成电路芯片制备，首次在国内自主研发成功用于0.8微米VLSI的双层金属布线技术，并成功应用于0.8微米CMOS电路研制，获1996年中科院科技进步一等奖、1997年国家科技进步二等奖。

1996年，徐秋霞作为中科院高级访问学者在美国加州大学伯克利分校做科研工作。她谢绝了伯克利大学的盛情挽留和优厚待遇，回国投身“九五”科研攻关。她承担了国家重点攻关专题“0.1微米级CMOS器件结构及性能研究”，首次用创新工艺技术研制成功了栅长70纳米CMOS器件和100纳米57级环振电路，各项特性指标和环振速度达到国际上同类研究工作的先进水平，成为当时我国一项重大的科研成果。该成果与她负责另一项国家重点攻关专题“0.18微米关键技术研究”同获2002年北京市科学技术二等奖。

“十五”期间，徐秋霞作为国家重大基础研究“973”课题负责人，承担了“亚50纳米器件的关键工艺技术基础研究和器件制备”攻关任务，在器件设计和关键技术方面自主创新，超指标完成了亚30纳米器件关键技术研究，以第一发明人获国家发明专利授权10项。2003年1月，她在国内首次研制成功了性能优良的栅长27纳米CMOS器件和32分频器电路（其中嵌入了201级环形振荡器）。该成果获2004年北京市科学技术奖一等奖，并获2005年国家技术发明奖二等奖。同期承担的“863”课题“0.09微米集成电路大生产工艺与可制造性技术研究”中的子课题研究获2007年教育部科技一等奖、2008年国家科技进步二等奖。

“十一五”期间，徐秋霞担任国家科技重大专项“22纳米关键工艺技术先导研究”项目“工艺整合与集成技术研究”课题的首席科学家和“973”课题负责人。她带领团队坚持自主创新，针对22纳米及以下器件结构和新技术展开了深入研究，攻克了重重技术难关，发表论文30多篇，获专利授权40多项，项目成果“22-14纳米集成电路器件工艺先导技术”获2016年北京市科学技术一等奖、2017年国家技术发明二等奖。

三、无私奉献，书写绚丽科学人生

徐秋霞坚信，成功不是轻易获得的。从长春半导体厂到中科院的前沿研究，从“七五”到“十一五”技术攻关，数十载科技创新实践磨炼了徐秋霞艰苦奋斗的优良品质和不畏险阻的坚强意志。只要是工作，她就永远不会感觉疲劳。无论是工作日、休息日，甚至节假日，她每天都在超净实验室里工作10多个小时。任务紧急时，甚至通宵达旦。从项目的总体技术路线的确定，到单项实验、技术集成直至最后的流片方案，她事必亲躬，力求做到万无一失。

2006年，先导中心工艺线改造升级。为了不耽误科研进度，徐秋霞和她的团队采取超常规的工作方式，从早7点连续工作到次日凌晨，每天只吃一顿午饭。如果实验不顺利，就会通宵达旦。临近春节，工作强度仍然不减。她的一名博士把家人从山东老家接到北京团聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀请学生和他的家人一起吃年夜饭。但由于工作紧张，一直忙碌到第二天凌晨，连饭都没顾上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但这位学生的父亲却真诚地说：“把儿子交给您，我很放心。”学生家长的理解和信任给了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，医院诊断为脊椎压缩性骨折。领导和同事都非常关心她的伤势。手术很成功，但必须卧床休养。期间，她每天都用电话和电子邮件与团队成员沟通工作。一个月后，她刚能起身下床，便不顾家人、领导和同事的劝说，身着铁背心坚持上班。同事们非常感动，最大限度地给予她帮助。同事们的关心和爱护给了徐秋霞温暖，也给了她努力康复的精神力量。她坚持每天做康复训练，3个月后，终于脱去铁背心，再次快乐地奋战在科研一线。

四、教书育人，培育高新科技人才

在从事科研工作的同时，徐秋霞为研究生培养倾注了大量心血。作为博士生导师，她为人师表、教书育人，将知识和经验毫不保留地传授给学生。无论科研工作多么繁忙，她总是抽出时间与学生交流，循循善诱、悉心指导，启发学生思考。她常教导学生，做科研首先要有创新精神，只有大胆创新、敢于突破，才能产出成果；其次要心态平和，甘于清贫、甘于寂寞、甘于枯坐冷板凳，要一步一个脚印，将梦想变为现实。徐秋霞培养的学生多次获得研究所特等奖学金、华为奖学金、中科院“三好学生标兵”、中科院朱李月华奖学金、中科院院长奖学金等。她本人也多次获评“优秀教师”、“研究生喜爱的老师”等称号。

如今，徐秋霞已年逾七旬，仍然精神矍铄，像年轻人一样充满活力，坚持奋战在科研一线。她常说“我多么希望咱们中国在最前沿的集成电路科技领域，能够拥有自主知识产权，能够具有核心技术的竞争力，能成为集成电路产业的强国。几十年来，我一直希望看到这样一个局面。”她用实际行动，为实现这个目标而毕生努力。在徐秋霞身上，我们看到了一名老科学家的光辉形象，她几十年如一日，尽忠职守，为集成电路产业发展无私奉献了自己的一生，以实际行动，激励着后来人为实现中国集成电路强国之梦而奋斗！

工作中的徐秋霞研究员