位于美国密苏里州德克斯特市的k-Space Associates公司为其计量工具增加了一个新的配件kSA Insight。美国k-Space公司作为原位、在线和离线测试设备的主要制造商,主要为半导体、薄膜材料和光伏产业的研究机构和制造商提供专业的材料性能测试设备。
该工具允许研究人员和操作人员从k-Space软件中实时查看晶圆和压板。成像系统采用高分辨率彩色摄像机,并与所有k-Space薄膜计量软件兼容,即插即用。
首席执行官Darryl Barlett表示:“一些客户要求在沉积过程中能够从电脑屏幕上看到他们的晶圆和压盘,因此我们设计了这个工具,以便与他们现有的k-Space软件无缝集成。说。无论运行的是kSA 400、kSA BandiT、kSA MOS还是kSA ICE,都可以使用此插件在电脑上快捷地查看发热板和晶圆。”
客户可以调整配件,以适应不同大小的视口,而且变焦镜拥有一个大的变焦范围,可以在较大距离范围内工作。实时视频可以放大或缩小,并且运用k-Space软件可以在任何时候捕捉和存储全分辨率彩色图像。
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