皮拉尼（Pirani）真空计是基于热传导原理的真空计，基于传统热阻的皮拉尼真空技术在国际上已较为成熟，并有典型的真空传感器产品。为了实现宽范围量程的真空计量，往往需要通过组合多个真空计来实现。但由于传统的真空计体积较大，而真空组合模块的体积又进一步限制了其应用。 

　　随着MEMS技术的发展，真空计微型化也成了当前的研究主流，采用MEMS技术实现微型MEMS的制作，缩小了模块的体积，在方便安装的同时，也更适合于不同要求的真空系统中的实际应用。 

　　中科院微电子所先导中心在微型MEMS皮拉尼真空计方面进行了大量研究，采用三层键合的MEMS平台工艺实现了不同量程皮拉尼真空计的融合，也提高了真空计的测量精度并拓展了其测量范围。近日其研究成果Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges with Multi Heat Sinks被Journal of Microelectro Mechanical Systems期刊收录（December 16, 2019），并被美国科技媒体VerticalNews的NanotechnologyWeekly正面报道（2020）。目前在该方面的研究还在继续深入中。
 

　　采用三层键合MEMS平台工艺实现的Pirani真空计融合结构