专利及产业化

　　中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心共申请发明专利1475项（含国外发明专利申请389项），其中已获授权932项发明专利（含国外授权发明专利333项）。这些专利涵盖了集成电路制造先进技术代的主要技术领域，例如鳍式场效应晶体管（FinFET）、高k金属栅（HKMG）、源漏工艺等。