集成电路创新技术--集成电路先导工艺研发中心

集成电路创新技术课题组更多+

面向集成电路持续微缩挑战和重要技术创新需求，本课题组聚焦于超越当前主流制造工艺两代以上的核心器件和关键工艺，从新材料、新结构和新原理上开展前瞻技术研究，形成国际一流的原创成果，建立面向未来产业开发应用的核心技术方案和关键知识产权体系，为集成电路的重大技术创新与变革发展奠定探索基本技术路线。当前本课题组开展的主要研究方向有“水平和垂直纳米线（片）...

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