光子器件与集成技术--集成电路先导工艺研发中心

光子器件与集成技术课题组更多+

课题组基于先导中心8英寸CMOS工艺线，主导开发了国内首个面向硅基光电子技术研究和产品开发的，具有完整硅光工艺流片能力的8英寸硅光子平台。该平台已开发了成套的硅光子工艺库和器件库，制定了硅光子平台的设计规则和工艺规范，形成了平台的PDK ，并与主流光子集成设计软件Synopsys OptoDesigner和Luceda Photonics IPKISS实现了集成。截止到2019年4月，微电子所硅光子平台...

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