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微电子所在纳米森林的湿度传感器应用研究方面取得新进展
2022-04-28
近日，微电子所新技术开发部物联网技术研发实验室的毛海央团队和集成电路先导工艺研发中心的周娜老师合作在纳米森林的MEMS传感器集成应用研究方面取得重要进展。 呼吸是支持人类生命活动中的重要过程。许多疾病和健康问题，例如：心脏病、肺炎、支气管炎、呼吸暂停综合征等，都会引起呼吸频率和深度的变化。湿度传感器可...
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微电子所在纳米森林等离激元效应的微器件应用研究方面取得新进展
2021-07-22
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心在纳米森林等离激元光吸收效应及其微器件应用研究方面取得重要进展。基于以上问题，微电子所陈大鹏研究员课题组与长春光机所李绍娟研究员课题组、中北大学熊继军教授课题组合作，利用等离子体轰击添加硅烷偶联剂的聚酰亚胺，开发了一种纳米森林结构的简单制备工艺，该工艺与常规...
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微电子所在纳米森林的微器件应用研究方面取得新进展
2021-03-16
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心在纳米森林的微机电系统（ MEMS ）传感器应用研究上取得重要进展。湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重要意义。随着MEMS技术的发展，基于MEMS工艺的电容式湿度传感器因其在宽相对湿度范围内具有较好的灵敏度和较好的抗干扰能力而受到广泛关注。传统的电容式湿...
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MEMS皮拉尼真空传感器
2020-06-24
皮拉尼（ Pirani ）真空计是基于热传导原理的真空计，基于传统热阻的皮拉尼真空技术在国际上已较为成熟，并有典型的真空传感器产品。为了实现宽范围量程的真空计量，往往需要通过组合多个真空计来实现。但由于传统的真空计体积较大，而真空组合模块的体积又进一步限制了其应用。中科院微电子所先导中心在微型MEMS皮拉尼...
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8inch MEMS工艺制程
2020-05-29
MEMS器件是利用微细加工工艺实现的可以将力、热、电、磁、光等多种物理量转化为电学信号输出的传感器，按照其工作原理的不同，其形式与结构也具有较大差异。需要针对独特结构的器件进行其专属工艺的开发，甚至器件开发中所需的设备和工艺也千差万别，从而使得产品开发周期过长，成本过高。据市场研究机构Yole Developmen...
MEMS器件及系统中心