MEMS器件及系统中心

热敏微纳器件自测试研究

2020-05-26

近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心陈大鹏研究员课题组在热敏微纳器件自测试领域取得阶段性研究进展。热敏微纳器件是通过与温度相关的电学输出反映被测物理量的一类器件，包括：流量计、皮拉尼真空计、非制冷红外探测器等。因器件的工作涉及热电转换，所以热学参数和电学参数是器件的两类重要参数。...