1958年10月，为研制“两弹一星”专用109计算机，中国科学院微电子研究所的前身、我国第一个半导体器件生产厂——“中国科学院109厂”成立。1986年，109厂与中科院半导体所和计算所有关微电子学研究部门合并，成立“中国科学院微电子中心”。随着学科的发展，2003年9月，微电子中心正式更名为“中国科学院微电子研究所”。

　　109厂成立之初，面临人才缺失、技术不足等巨大困难。在李德仲、唐生金等同志的精心组织领导下，在王守武、林兰英、王守觉、廖德荣、刘家树等老一辈科学家的努力下，109厂面向国家战略需求，在半导体材料和器件的生产研制方面填补了国内空白。1960年，研制生产国内第一批锗晶体管，为我国第一台锗晶体管计算机——109乙机的研制成功做出了重要贡献。1964年，在国内率先开发生产硅平面晶体管，为我国第一台硅晶体管计算机、被誉为“两弹一星”功勋计算机——109丙机的诞生做出了历史性贡献。1965年，在国内率先研制成功集成电路，用于研发我国第一台集成电路计算机“156”机。1966年，合作研制我国第一台65型接触式光刻机和超声波铝丝压焊机，在全国推广使用。1970年，合作研制远洋跟踪测量船“远望号”中心控制151计算机。1976年，合作研制我国第一台集成电路百万次计算机——“013”机，突破了西方国家向我国出口百万次计算机的限制。1980年，研发出我国第一块16K 存储器。1983年，合作研制我国第一台每秒运算千万次计算机——757机。109厂为我国集成电路事业做出了奠基性、开拓性贡献。时任中国科学院院长郭沫若赞赏说：“有了109（厂），中国就（开始）有半导体事业了。”

　　20世纪80年代，集成电路技术突飞猛进。在吴德馨、马俊如、夏武颖等科学家的带领下，微电子中心深入推进集成电路技术及产品的研发、生产。1986年，成功研制我国第一块自主设计的64K存储器。1990年，在国内率先开发成功2微米成套CMOS工艺技术，自行设计研制成功国内首台反映离子刻蚀设备。1992年，开通国内首条4英寸工艺线，具备了0.8微米成套工艺研制能力，为我国集成电路产业的持续发展做出了应有贡献。

　　经过六十年的发展，微电子所已成为国内集成电路领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，研究领域包括微电子设计、微电子工艺与制造、微电子器件、集成电路装备、微纳加工、物联网技术等。研究所以行业应用、行业服务、核心产品和基础研究为重点进行科研布局，设有两个基础研究类中国科学院重点实验室，4个行业服务类研发中心，6个行业应用类研发中心，3个核心产品类研发中心。近年来，在集成电路先导技术、物联网核心技术与应用、高可靠器件与电路、新一代微电子器件与集成技术方面取得了一系列重大创新成果，攻克了22-14纳米工艺和集成技术，形成了成体系的自主知识产权和关键技术；突破了智能制造、农资物联网、公共安全、车联网、智能集成传感器等物联网关键核心技术；研发出上百款高可靠器件与电路，支撑了多项国家工程；阻变式存储器基础研究和三维集成技术达到国际先进水平。微电子所已成为中国集成电路产业的国家队，引领中国集成电路技术创新发展。

　　六十载栉风沐雨。三代微电子人艰苦奋斗、开拓创新，用心血和汗水书写了光荣历史、创造了骄人成绩。值此建所60周年之际，谨向微电子所全体职工、研究生和离退休老同志，向在微电子所工作过、学习过的同志、同学，向长期关心支持微电子所发展的各级领导、专家学者、业界朋友致以衷心感谢！

　　砥砺前行六十载，自主创新铸未来。在新的历史时期，微电子所将继续秉承“惟精惟一，求是求新”的所训，不忘科技报国初心，牢记科技强国使命，为民族的复兴、人民的幸福、国家的强盛砥砺前行、奋斗不止。