GAA器件工艺PDK与标准单元库
 研究内容:
       研究纳米尺度的FinFET、GAA等先进器件的版图依赖效应LDE、寄生效应、尺寸涨落等物理效应研究,构建工艺融合器件模型、PDK和标准单元库,集成电路设计参考流程等设计与制造协同优化技术方案。