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连续波UV-B激光二极管

稿件来源:今日半导体 责任编辑:ICAC 发布时间:2021-05-17

  来自名城大学、三重大学,旭化成公司和名古屋大学的研究小组实现了13.3kA/cm2的电流密度阈值,迄今为止,这是以300nm波长发射的UV-B激光二极管(LD)的最低阈值电流密度,他们的工作重点是优化波导厚度和包层结构。 

  研究人员认为对于实现连续波操作,小于10kA/cm2的阈值必不可少,另一个要求是工作电压必须小于10V,UV-B波长范围是280-315nm。

  在先前的工作中,研究小组发现氮化铝镓(AlGaN)结构UV-B激光二极管的一个问题是波导层的自发发射,这是器件性能的寄生现象,可以减少电荷载流子注入到激光器的有源区域。通过减薄波导以提高注入效率并优化包层以维持/增强激光区域的光学限制,可以提高最新器件的阈值。

  受实验和模拟的启发,研究人员使用金属有机气相外延(MOVPE)在AlGaN缓冲液上生产了一种优化的器件,位错密度约为1x109 /cm2,沉积在经溅射和退火处理的AlN模板上,在n侧的覆层是无意掺杂的(u-AlGaN),而在上部覆层中则掺杂了镁,以提供p型导电性。

  器件制造过程使用电感耦合等离子体(ICP)台面蚀刻和电子束蒸发来沉积钒/金/钛/金n电极和镍/铂/金p电极。二氧化硅用于电隔离n电极和p电极,接触垫由钛/金组成。在四甲基氢氧化铵溶液中,采用等离子刻蚀和湿法刻蚀相结合的方法制备了无涂层镜面。

  谐振器长度为2000μm,p电极宽度为10μm的激光二极管的激光阈值电流密度为14.2kA/cm2,而该小组先前报告的类似激光二极管的激光阈值电流密度为25kA/cm2。研究人员将这种改进归因于增加的注射效率和光学限制。

  在一系列具有谐振器长度和p电极宽度的激光二极管的实验中,研究人员表示为了进一步降低阈值电流,还需要研究其他因素。13.3kA/cm2阈值的器件具有2000μm谐振器和15μm宽的p电极。实验准备涉及两个器件,这些器件生长在底层AlGaN缓冲液上,位错密度稍高,约为~3x109/cm2

  外延设计包括可变厚度的波导层(150nm和50nm)和上部包层,以及到10nm p-GaN接触的两个成分梯度步骤。在室温下,相对于寄生亚峰,更薄的50nm波导具有更强的阱峰值发射。

  非必须副峰值是由于波导层引起的,因此可以期望减小波导的厚度来减小亚峰发射。当然,变薄波导会减少有源层中的光限制,模拟结果表明,样品B的波导较薄,使得更多的光进入吸收层,降低了激光效率。相对于150nm波导结构的100/cm,光吸收估计为260/cm。

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