科学院邮箱
ARP
OA
报表系统(内部)
微电子所
科学院邮箱
ARP
OA
报表系统(内部)
微电子所
MENU
Toggle navigation
首页
关于我们
中心介绍
人才队伍
先导之星
综合新闻
新闻博览
通知公告
招生招聘
芯视野-高端论坛
头条新闻
研究方向
集成电路创新技术
光子器件与集成技术
计算光刻中心
MEMS器件及系统中心
平台服务
微纳电子先导工艺研发平台
硅光子平台
MEMS平台
器件与工艺仿真平台
设备展示
报表系统（内部）
专利及产业化
专利布局
专利技术
关于我们
学习园地
业内热点
科普知识
联系我们
平台服务
微纳电子先导工艺研发平台
硅光子平台
MEMS平台
器件与工艺仿真平台
设备展示
报表系统（内部）
当前位置 >>
首页
>>
集成电路先导工艺研发中心
>>
平台服务
>>
设备展示
设备展示
金属PVD溅射设备
稿件来源：ICAC
责任编辑：ICAC
发布时间：2018-10-17
共1页
1
加载更多
附件：
平台服务