所况介绍
中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所” ）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学...
所长、党委书记：戴博伟 党委副书记、纪委书记：谢光锋 副所长：曹立强 副所长：李泠 副所长：罗军
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成果转化与产业化
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精密测量光刻传感器、系统结构及环境、实时精密光电信号处理、高精控制算法及模型、大系统集成及复杂控制工程等
光刻技术总体部