高频高压中心的化合物半导体工艺平台拥有近1000平米的洁净厂房，价值近3亿元的半导体设备，覆盖前道、后道等工序步骤，具有工艺监控SPC能力，已经形成完善的GaN、InP、GaAs、SiC 、Diamond等半导体器件与集成电路成套工艺开发能力，并具备专用工艺开发能力，为研发中心承担的各类国家项目提供了重要的工艺支撑。目前工艺平台通过中科院共享平台向社会开放，欢迎社会各界朋友交流合作。
历经数十年的技术积累和仪器更新，建立了国内先进的微波毫米波、电力电子器件与电路测试平台。平台拥有各种测试系统和设备约100台（套），测试平台目前整合微波测试、光电测试、高温高压测试、物性分析平台，形成了能够覆盖高低温、光学、电学与物性分析的多功能测试能力，为所内外提供测试开发服务。
工艺平台联系人：杨成樾，电子邮箱：yangchengyue@ime.ac.cn
测试平台联系人：苏永波，电子邮箱：suyongbo@ime.ac.cn
高频高压器件与集成研发中心