> 自动快速调节匹配网络
> 实时显示入射功率及反射功率变化，指标精度1%
> 显示自偏压
> 实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
> 采用真空电容调节（1kw以上）
> 具有自动控制和手动控制两种模式
> 电源输入：220V
> 提供配合射频电源反射功率保护信号，与射频电源配合使用
> 直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
> 规格：500w-10kw
联系人： 杨军
联系电话：010-82995688
微电子仪器设备研发中心