> 参数:手动旋钮控制
> 基片尺寸φ100-φ200mm圆片(4英寸~8英寸)
> 显示转速稳定度:±1%,胶的均匀性±5%
> 转速:500-5000转/分
> 匀胶阶段:2段
> 匀胶时间:Ⅰ速0~18S,;Ⅱ速0~60S
> 电机功率:180W
> 整机尺寸(长宽高):425mmx500mmx300mm
> 适应用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料
联系人:杨进
联系电话:82995689
微电子仪器设备研发中心