高精度射频电源及匹配技术研究

　　高精度射频电源是微电子仪器设备的核心部件，其作用是向微电子仪器设备体腔室提供固定频率（通常为13.56MHz）的射频能量，用于激发腔室内的气体离化，从而产生等离子体。现已广泛应用到真空镀膜、等离子清洗、半导体刻蚀、射频放电、射频加热等方面，例如ALD、等离子刻蚀机、溅射台、PECVD等半导体设备。

　　中国科学院微电子研究所射频电源课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

　　2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-1500W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。

　　构建鞋盒式（ShowBox）射频电源，尺寸小，功率密度大，精度高，谐波抑制要求高

　　射频功率检测器设计

　　（1）双端平衡输出转换为单端非平衡输出以便于测量

　　（2）标准功率计（国际通用Bird4421主机和4027探头）进行校准标定

　　（3）高速集成运放与有源精密检波相结合，扩大了有效功率检测范围