6月24日,中国科学院微电子研究所承担的重大专项纳米制造相关课题在四川绵阳顺利通过验收。
课题行政负责人、科技处熊伟副处长,财务处陈音处长、技术负责人谢常青研究员、课题负责人朱效立博士参加了此次验收工作。课题验收分别由技术验收组、档案验收组和财务验收组按照重大专项验收要求分别审查,总验收分数取三个验收项的最低值,若有一项不合格,验收即为不合格。朱效立博士对项目进行了认真地汇报和答辩。经过仔细质询和认真讨论,最终专家组以不记名投票的形式一致给予了该课题全优分数通过,成为了少数几个一致通过验收的课题之一。
微电子所是国内最早开展亚微米微细加工技术研究的单位,在深亚微米微细加工技术及微光刻技术方面一直保持国内领先地位和自主创新的特色。三十年前,陈梦真、陈宝钦等老一辈科学家积累了光学元件研究所必需的工作基础,之后经过叶甜春研究员等人的不懈努力,解决了一些长期发展和应用的技术难题,研究工作取得极大进展。近年来,研究所积极面向国家重大工程需求,建立了由朱效立博士等人组成的第三代光学元件研究团队,顺利向多项国家重大工程提供优质的关键元器件,取得了完全自主知识产权。三十年的努力为光学元件的研制打下了雄厚的技术基础,打造了一支团结创新的团队。
课题年度工作圆满完成,得益于我所职能部门和研究室创新文化建设不断取得进展。科技处熊伟副处长从课题立项、进度节点、用户沟通、验收总结等方面全力介入课题工作,陈音处长不仅从课题经费预算方面给予具体指导意见,还亲自制作课题决算报告,档案和资产部门对课题档案、设备购买均予以大力支持。三室主任刘明研究员对课题工作予以高度重视,多次亲自就相关技术予以指导。电子束光刻课题组陈宝钦研究员、牛洁斌工程师等同志为此课题的完成更是忘我工作和不懈努力。
课题工作还得到了国家同步辐射实验室和北京正负电子对撞机国家实验室的大力技术支持。
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