近期，根据国家自然科学基金委信息科学部通知，微电子所刘明院士牵头的“新型微电子器件集成的基础研究”创新群体顺利通过结转检查和评审。
“新型微电子器件集成的基础研究”创新群体于2012年获批为国家创新研究群体，2013—2015年展开第一期研究，在前瞻性基础科学研究和部分研究成果转化应用方面成绩显著。期间完成了新型微电子材料和结构、基于新型微电子器件的电路设计、集成加工技术及应用等三个方面的计划任务，建立了阻变存储器（RRAM）的物理模型，提出了RRAM的基础理论和关键技术方法，实现了高性能RRAM器件及其三维集成，在国际上产生了重要影响，多项工作被列入2013ITRS（国际半导体发展路线图，被认为是微电子技术发展的风向标）。拓展了新型闪存材料和结构体系，提出了可靠性表征新技术、存储和失效模型，为存储器产业发展提供了关键理论和技术。在企业生产线上开发了新型存储材料/集成工艺/器件/可靠性/电路等成套技术，相关专利和技术已经转移到企业。
国家自然科学基金委检查组于9月28日组织对“新型微电子器件集成的基础研究”进行了结转检查和评审，听取了关于创新群体的研究背景、工作进展及创新性成果、学术交流和人才培养等方面的工作汇报，审议了群体延期资助的理由，对该群体的研究成果给予肯定，一致建议对该群体给予延期资助，并对后续研究工作提出期望。
国家自然科学基金委员会副主任高文院士、信息科学部常务副主任秦玉文研究员、信息科学部副主任张兆田研究员，微电子所所长叶甜春，副所长刘新宇和吴德馨院士等参加了评审会。
评审会现场
科研工作