据09年度国家自然基金项目情况通报，微电子所在2008年的国家自然科学基金项目的结题评审中，共有5个面上项目收到评估结果。其中徐秋霞研究员的“亚50纳米金属栅体硅多栅CMOS器件及关键技术研究”被评为“特优”。王丛舜副研究员的“基于射频单电子晶体管的微纳机械器件研究”和李俊峰研究员的“SOI射频SOC的集成器件及工艺基础研究”被评为“优”。仇玉林研究员的“RF CMOS 无线接收机新结构研究”和陈大鹏研究员的“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”被评为“良”。
由于国家自然科学基金项目评审一贯注重“绩效挂钩”原则，强调资助的连续性和绩效性，项目主持人在上一个项目结题时被评为“特优”，下一次申请项目时会受到一定的奖励，例如把评级上提一级，或加大资助强度。所以此次徐秋霞研究员的项目结题评估取得的好成绩，也是对其科研业务水平的充分肯定，更是其高度重视项目的研究质量、重视项目结题工作的努力结果。
另外，在2009年微电子所申请的国家自然基金项目中，共有7个项目获得了资助，其中韩郑生研究员获得了120万专项基金资助。
两年来微电子所在国家自然基金项目立项上不断实现历史性突破，争取到了自然基金重大项目，充分证明了微电子所的科研实力正在不断的稳步发展，这也对进一步促进微电子所科研水平向更深层面发展起到积极的推动作用。
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