中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。
微电子所前身为原中国科学院109厂。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。
微电子所以“满足国家战略需求、引领科技创新前沿、支撑产业升级发展”为使命定位，发挥集成电路学科建制化优势，开展先导工艺、存储器及系统芯片、关键核心芯片、装备及核心技术等方向的基础性、战略性和前瞻性研究，以关键工艺与核心器件研究为主要特色，应用基础研究、产业共性技术研发与工程应用深度融合，成为不可替代的国家战略科技力量。在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有12个研发单元，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。
截至2023年底，微电子所共有在职职工1008人。其中科技人员608人、科技支撑人员239人，包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国际欧亚科学院院士2人、研究员及正高级工程技术人员156人、副研究员及高级工程技术人员358人。
微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位（1996年5月获批）、硕士学位（1990年11月获批）授予权单位之一，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科，及“电子信息”专业学位类别学位授权点。其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”（2011年获批中国科学院重点学科）、“电路与系统”两个二级学科；设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站。截至2023年底，共有在读研究生1593名，其中微电子所1161名（含留学生6名），集成电路学院432名。
2023年，微电子所共有在研项目541项（包括新增项目152项）。包括，主持（或承担）国家重点研发计划、国家自然科学基金、先导专项（A类、B类、C类）、弘光专项等国家重大科技项目。
2023年，研究所“十四五”规划院评议结果位列信息领域前列；“集成电路制造技术全国重点实验室”获得批准建设。主要科研方向年度重要工作进展与成果如下：1、联合中芯国际打通28nm嵌入式RRAM集成工艺，实现128Mb 大容量RRAM存储芯片。开发的RRAM IP在华澜微SATA硬盘控制器中量产应用，联合显芯公司设计国内首款集成RRAMIP的画质增强28nm SoC芯片。该成果入选院2024年度工作会议主报告。2、提出采用垂直环形沟道（CAA）IGZO晶体管 2T-0C DRAM存储单元三维堆叠技术，最新成果再次入选2023 IEDM。3、提出稳定的R相Hf(Zr)1+XO2铁电材料，铁电存储器矫顽场降低一半，疲劳特性提升两个量级，相关成果在《Science》上发表。4、创制新型鱼骨形水平GAA和沙漏形Ge沟道垂直GAA器件，相关成果论文被选为EDL封面亮点文章。在国内12吋量产线实现水平GAA器件制造。5、突破硅微桥埋入式集成技术，满足了Chiplet封装总带宽≥2.7Tbps使用需求；国内首次发布转接板PDK，突破12吋有源硅转接板后通孔工艺。6、为欧洲核子中心提供高性能硅基探测器芯片，首次实现了国产探测芯片在国际大科学装置的批量应用；40GSps 8bit ADC等5款高端数模转换芯片实现量产；成功研制超强抗辐射CSOI SRAM芯片。7、计算光刻软件实现新的应用；自主研发的“真空规”实现小批量供货；10-35mN全碘集成霍尔电推进系统成功点火；高能效类脑计算架构在5亿神经元类脑计算机应用；研制出高能量长脉冲绿光激光器；高精度通信感知一体化技术入选工信部应用计划示范项目。
2023年，获中国科学院科技促进发展奖1项。
2023年，发表论文640篇，其中SCI论文397篇；出版专著5部；申请专利749件，专利授权384件；登记软件著作权31项；登记集成电路布图设计3项。
2023年，微电子所认真贯彻落实习近平总书记对中国科学院提出的“四个率先”和“两加快一努力”目标要求，以及关于科技成果转化的系列指示精神，聚焦主责主业，调整优化布局，狠抓责任落实，以服务国家重大战略需求为最高追求，紧密围绕抢占科技制高点这一核心任务，按照“聚焦布局、重塑队伍、提升效能”的总体思路开展成果转化和产业化。在院地合作方面，致力于找准研究所定位和发展需要与地方典型需求的结合点，以解决国家关注的关键核心技术问题为目标，围绕区域特色的国家战略需求，集成资源，强强联合，形成区域上的协同创新和集中示范。在所企合作方面，进一步加强同行业龙头企业的协同协作，构建长效合作机制，联合攻关行业共性关键技术，并推动重大技术成果的工程化和产业化。在知识产权管理方面，进一步深入实施“专利导向的研发”发展战略，强化重大项目知识产权全过程管理机制，促进高价值专利培育和高质量转化运用。
微电子所是中国集成电路创新联盟秘书处、中国集成电路检测与测试创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处。
所况介绍