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第一作者所在部门: | |
论文题目: | T形栅In0.52Al0.48 As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件 |
论文题目英文: | |
作者: | 黎明,张海英,徐静波,付晓君 |
论文出处: | |
刊物名称: | 《半导体学报》 |
年: | 2008 |
卷: | 29 |
期: | 12 |
页: | 2331-2334 |
联系作者: | 黎明 |
收录类别: | |
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摘要: | 利用电子束光刻技术制备了200nm栅长GaAs基T型栅InAlAs/InGaAs MHEMT 器件.该GaAs基MHEMT器件具有优越的直流、高频和功率性能,跨导、饱和漏电流密度、阈值电压、电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到510mS/mm, 605mA/mm, -1.8V, 138GHz 和78GHz. 在8GHz下,输入功率为-0.88(2.11)dBm时,输出功率、增益、PAE、输出功率密度分别为14.05(13.79)dBm,14.9(11.68)dB,67.74 (75.1)%,254(239)mW/mm,为进一步研究高性能GaAs基MHEMT功率器件奠定了基础. |
英文摘要: | |
外单位作者单位: | |
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