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第一作者所在部门: | |
论文题目: | X波段低损耗高隔离开关应用的GaAs PIN二极管 |
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作者: | 吴茹菲,张海英,尹军舰,张健,刘会东,刘训春 |
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刊物名称: | 《半导体学报》 |
年: | 2008 |
卷: | 29 |
期: | 5 |
页: | 832-835 |
联系作者: | 吴茹菲 |
收录类别: | |
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摘要: | 报道了一种适用于X波段的低损耗高隔离度开关的GaAs PIN二极管. 讨论了GaAs PIN二极管的物理特性和主要电学参数对开关性能的影响,并且介绍了工艺制备过程. 测试结果表明在100MHz~12.1GHz范围内,正向电流为10mA时的开关电阻小于2.2Ω,而反向电压为-10V时开关电容小于20fF. |
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