| 论文编号: | |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Two Micro Thermal Shear Stress Sensors: Surface Micromachined and Bulk-bonding Micromachined |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | Shali Shi,Liang Yi,Dapeng Chen,Yi Ou,Yupeng Jing,Tianchun Ye |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS |
| 年: | 2008 |
| 卷: | 7 |
| 期: | 4 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | Shali Shi |
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科研产出