| 论文编号: | TN216 |
| 第一作者所在部门: | 集成电路先导工艺研发中心(十室) |
| 论文题目: | 光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 高杰;张青川;陈大鹏;焦斌斌;史海涛;钱剑;程腾;伍小平; |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 红外与毫米波学报 |
| 年: | 2009 |
| 卷: | 28 |
| 期: | 4 |
| 页: | 5,249-253 |
| 联系作者: | |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | |
| 摘要: | 在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L2/R=λ（λ为照明光波长）时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致.[著者文摘] |
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| 外单位作者单位: | |
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