| 论文编号: | 172511O120100123 |
| 第一作者所在部门: | 三室一组 |
| 论文题目: | 自支撑透射光栅的设计、制作和测试 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 谢常青 |
| 论文出处: | SCI收录 |
| 刊物名称: | 物理学报 |
| 年: | 2010 |
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| 影响因子: | 1.277 |
| 摘要: | 采 用 标 量 衍 射 理 论 和 严 格 耦 合 波 理 论 分 别 计 算 和 讨 论 了 金 自 支 撑 透 射 光 栅 的 衍 射 效 率 随 波 长 和 光 栅 周 期 变 化 的 情 况 并 设 计 了 光 栅 的 结 构 参 数 ． 制 作 了 周 期 为 ３００ ｎｍ、线 宽 ／周 期 比 为 ０ ５５、厚 度 为 ２００ ｎｍ、总 面 积 为 １ ｍｍ × １ ｍｍ、有 效 面 积 比 为 ６５％ 的 金 自 支 撑 透 射 光 栅 ． 在 国 家 同 步 辐 射 实 验 室 检 测 了 该 光 栅 在 ５ ５— ３８ ｎｍ 波 长 范 围 内 的 绝 对 衍 射 效 率 ． 检 测 结 果 表 明 所 制 作 的 光 栅 在 ８ ｎｍ 附 近 具 有 接 近 １０％ 的 最 大 衍 射 效 率 ，并 且 该 光 栅 对 于 波 长 １５— ３５ ｎｍ 范 围 内 的 极 紫 外 波 段 具 有 基 本 稳 定 的 衍 射 效 率 |
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| 外单位作者单位: | |
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